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申请/专利权人：中国科学技术大学
摘要：本申请提供一种声波谐振器，位于衬底一侧的释放层；位于释放层远离衬底一侧的压电层；压电层的切向为X切向；贯穿释放层的空腔，空腔部分位于衬底中，空腔的出口贯穿压电层；位于压电层上下表面的多个对称设置的叉指电极；水平波长和厚度波长的比值大于或等于1，且小于或等于2；将叉指电极形成的水平电场方向与压电层坐标系下+y轴方向所成的夹角作为欧拉角，取值范围为[‑90°，90°]。声波谐振器的水平波长和厚度波长的比值大于或等于1，且小于或等于2。欧拉角的取值范围为[‑90°，90°]。上、下叉指电极激发水平与厚度方向电场，形成至少两个一阶或多阶、相互正交极化的耦合模态。提高声波谐振器的机电耦合系数，实现大带宽耦合模态谐振器。
主权项：1.一种声波谐振器，其特征在于，包括：衬底；位于所述衬底一侧的释放层；位于所述释放层远离所述衬底一侧的压电层；所述压电层的切向为X切向；贯穿所述释放层的空腔，所述空腔部分位于所述衬底中，所述空腔的出口贯穿所述压电层；位于所述压电层上下表面的多个对称设置的叉指电极；将所述叉指电极的宽度的两倍，和，相邻所述叉指电极的间距的两倍的和作为水平波长；将所述压电层的厚度的两倍作为厚度波长；所述水平波长和所述厚度波长的比值大于或等于1，且小于或等于2；将所述叉指电极形成的水平电场方向与所述压电层坐标系下+y轴方向所成的夹角作为欧拉角；所述欧拉角的取值范围为[-90°，90°]。
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