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申请/专利权人：朗姆研究公司
申请日：2017-07-24
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248616A
主分类号：H01L21/687
分类号：H01L21/687;H01L21/683;H01L21/67;H01J37/32
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：一种边缘环被配置为在衬底处理系统中经由一个或多个升降销相对于衬底支撑件升高和降低。所述边缘环还被配置为在所述边缘环的调整过程中与从衬底支撑件的底部环和或中部环向上延伸的引导特征对接。所述边缘环包括：上表面；环形内径；环形外径；下表面；以及环形凹槽，所述环形凹槽被布置在所述边缘环的所述下表面中，以与所述引导特征对接。所述环形凹槽的壁是基本竖直的。
主权项：1.一种用于衬底处理系统的边缘环，所述边缘环包括：环形平面部分，其具有内端和外端，所述外端被以一角度倒角；环形内侧部分，其从所述环形平面部分的所述内端竖直向下延伸；环形外侧部分，其从所述环形平面部分的所述外端向下延伸，所述环形外侧部分比所述环形内侧部分更宽，所述环形平面部分和所述环形内侧部分限定所述边缘环的高度；以及环形凹槽，其由所述环形平面部分以及所述环形内侧部分和所述环形外侧部分限定。
全文数据：
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