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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：一种激光维持宽带光源包含气体容纳结构及多个射流喷嘴。所述射流喷嘴经配置以将等离子体形成材料的多个液体射流引导于在所述气体容纳结构内彼此碰撞的方向上。所述激光维持宽带光源进一步包含：激光泵源，其经配置以产生光学泵以在所述气体容纳结构的区域中在所述多个液体射流的碰撞点处维持等离子体；及光收集器元件，其经配置以收集从所述等离子体发射的宽带光。
主权项：1.一种宽带光源，其包括：气体容纳结构；多个射流喷嘴，其中所述多个射流喷嘴经配置以引导多个液体射流在所述气体容纳结构内碰撞，其中所述多个液体射流包含第一液体射流及至少第二射流；激光泵源，其经配置以产生光学泵以在所述气体容纳结构的区域中在所述多个液体射流的碰撞点处维持等离子体；及光收集器元件，其经配置以收集从所述等离子体发射的宽带光的至少一部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 基于碰撞液体射流的激光维持等离子体源
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