申请/专利权人:中国科学院上海技术物理研究所
申请日:2024-03-26
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN118248706A
主分类号:H01L27/146
分类号:H01L27/146
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.25#公开
摘要:本发明公开了一种增加红外焦平面电学连通率的电极结构及其制备方法。该方法依据光敏芯片与读出电路倒焊互连时的偏移规律,设计并制备光敏芯片矩形电极结构;在倒焊互连过程中,增加读出电路铟柱与光敏芯片矩形电极和铟柱的接触面积,在倒焊偏移存在的情况下,提高了光敏芯片与读出电路耦合互连的电学连通率。本发明不受阵列规模和像元尺寸限制,尤其适用于对倒焊偏差容忍度低的高密度小像元焦平面阵列,有效降低红外焦平面探测器盲元率。
主权项:1.一种增加红外焦平面电学连通率的电极结构,其特征在于:所述结构由光敏芯片和读出电路组成,所述光敏芯片包括:矩形扩展电极结构、铟柱,所述光敏芯片上依据实际倒焊互连偏移规律设计矩形扩展电极结构,铟柱采用常规设计;所述读出电路上铟柱阵列采用常规设计及工艺制备。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国科学院上海技术物理研究所 一种增加红外焦平面电学连通率的电极结构及其制备方法
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