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申请/专利权人：华侨大学
申请日：2024-04-30
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118243274A
主分类号：G01L5/00
分类号：G01L5/00;G01L1/24
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明公开了一种衬底残余应力的光学无损检测系统及方法，系统包括光源、调制模块、分光镜、样品台、解调模块、图像采集模块；光源、调制模块和分光镜沿着直线A依次布置，分光镜、解调模块和图像采集模块沿着直线B依次布置，直线A垂直于直线B，样品台与分光镜的连线同时垂直于直线A和直线B。测量时，光源发出的激光经过调制模块、分光镜、待测材料和解调模块后到达图像采集模块，被采集形成一系列干涉图像，通过光强信号、光学元器件参数与等倾角和相位差的关系，计算出衬底残余应力的方向和大小。本发明通过垂直入射式反射光弹光路检测系统，改进现有的反射式光弹系统因小角度入射引起的系统误差，实现衬底残余应力的高精度检测。
主权项：1.一种衬底残余应力的光学无损检测系统，其特征在于，包括光源、调制模块、分光镜、样品台、解调模块和图像采集模块；光源、调制模块和分光镜沿着直线A依次布置，分光镜、解调模块和图像采集模块沿着直线B依次布置，直线A垂直于直线B，样品台与分光镜的连线同时垂直于直线A和直线B；光源发出的激光经过调制模块和分光镜后到达放置于样品台的待测材料，待测材料反射光经过分光镜和解调模块后到达图像采集模块，被采集形成光弹图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华侨大学 一种衬底残余应力的光学无损检测系统及方法
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