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申请/专利权人：哈尔滨工业大学;北京空间飞行器总体设计部

摘要：用于柔性充气展开结构测量的柔性压力传感器制备方法，属于柔性压力传感器制备技术领域。该制备方法，可以获得具有不同高灵敏度以宽线性范围的柔性压力传感器。包括以下步骤：S1.在合金表面制备具有分级结构的微弧氧化陶瓷膜作为模板；S2.在微弧氧化陶瓷膜表面浇注液态高分子聚合物；S3.高分子聚合物固化进行陶瓷膜表面微结构的拓印；S4.剥离出获得微结构的高分子聚合物薄膜；S5.在高分子聚合物薄膜表面进行电极的制备；S6.两个高分子聚合物薄膜组装成压力传感器。本发明采用具有分级结构的陶瓷膜作为拓印模板，拓印模板可以根据要求自行设计和制备，从而可以获得具有不同高灵敏度、宽线性范围以及压力测量范围的柔性压力传感器。

主权项：1.一种用于柔性充气展开结构测量的柔性压力传感器制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1.在合金表面制备微弧氧化陶瓷膜作为模板；合金选取厚度0.5mm的AZ91镁合金或者LY12铝合金；对合金表面采用砂纸进行打磨、丙酮超声清洗，之后放入铝酸钠和次亚磷酸钠组成的混合溶液中，进行微弧氧化处理；将处理后带有微弧氧化陶瓷膜的合金蒸馏水冲洗干净，烘干；合金表面放入铝酸钠和次亚磷酸钠组成的混合溶液中，采用100Hz、占空比为30％的交流方波电源在10Adm2的电流密度下进行处理；S2.在微弧氧化陶瓷膜表面浇注液态高分子聚合物；配置PDMS和固化剂按照10：1进行混合，搅拌均匀，之后倾倒在镁合金陶瓷膜的表面，在65℃下固化；S3.高分子聚合物固化进行陶瓷膜表面微结构的拓印；S4.剥离出获得微结构的高分子聚合物薄膜；固化后的PDMS与镁合金陶瓷膜一起放入1M的盐酸溶液中，静置24小时，待镁合金完全溶解；然后将镁合金完全刻蚀后得到的PDMS薄膜采用蒸馏水进行冲洗，放入干燥箱中60°下烘干；S5.在高分子聚合物薄膜表面进行电极的制备；通过磁控溅射、真空蒸镀在聚合物表面制备金属导电层作为电极，或者采用喷涂、丝网印刷以及刮涂的方式在聚合物表面制备碳材料电极，或者采用激光照射诱导原位生成石墨烯的方式制备电极；S6.两个高分子聚合物薄膜组装成压力传感器；两个具备电极的高分子聚合物薄膜面对面的放置在一起进行封装，并采用铜引线将电极接出即可得到柔性压力传感器。

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百度查询： 哈尔滨工业大学 北京空间飞行器总体设计部 用于柔性充气展开结构测量的柔性压力传感器制备方法