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一种半导体封装业用水基清洗剂及其制备方法 

申请/专利权人:深圳市合明科技有限公司

申请日:2023-09-11

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN117187004B

主分类号:C11D1/83

分类号:C11D1/83;C11D3/20;C11D3/37;C11D3/04;C11D3/33;C11D3/43;C11D3/60;C07C303/32;C07C309/44;C11D1/22;C11D1/72;C11D1/66

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权;2023.12.26#实质审查的生效;2023.12.08#公开

摘要:本发明公开了一种半导体封装业用水基清洗剂及其制备方法,所述半导体封装业用水基清洗剂包含非离子表面活性剂、改性阴离子表面活性剂、有机溶剂、增效剂、缓蚀剂和水;所述改性阴离子表面活性剂具有如下式A所示结构。本发明提供的清洗剂是以水性溶液为主的无毒环保、安全性好的水基清洗剂,通过非离子表面活性剂、改性阴离子表面活性剂的复合使用,具有优异的清洁能力,清洁后无残留并且对基材等材料无腐蚀。

主权项:1.一种半导体封装业用水基清洗剂,其特征在于,按总质量分数为100%计,包含:非离子表面活性剂1-3%改性阴离子表面活性剂1-2%有机溶剂10-20%增效剂1-2%缓蚀剂1-2%余量为水;所述改性阴离子表面活性剂具有如下式A所示结构: ;所述非离子表面活性剂选自炔二醇聚氧乙烯醚、聚氧乙烯月桂醇醚、蔗糖脂肪酸酯中的至少一种;所述有机溶剂选自二丙二醇丙醚、二丙二醇乙醚、二丙二醇丁醚、二乙二醇己醚中的至少一种;所述增效剂选自聚乙烯醇、聚丙烯酸钠中的一种;所述缓蚀剂选自四硼酸钠、葡庚糖酸钠、聚天冬氨酸钠中的至少一种;所述改性阴离子表面活性剂通过以下步骤制备:(1)在反应器中,加入二异丙基萘、三氯化铝和溶剂,加热至60-70℃后滴加月桂酰氯,滴加结束后恒温反应2-3小时,过滤、蒸馏、提纯制得中间体;(2)在反应器中,加入步骤(1)制得的中间体,缓慢滴加浓硫酸,搅拌后升温至70-80℃反应2-3小时,加入氢氧化钠水溶液中和,萃取、提纯后制得所述改性阴离子表面活性剂;所述步骤(1)中二异丙基萘与月桂酰氯的摩尔比为1:2-2.2;所述步骤(2)中浓硫酸质量分数为95-98%;中间体与浓硫酸的质量比为6-7:1。

全文数据:

权利要求:

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