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申请/专利权人：江苏亚电科技股份有限公司
申请日：2023-12-18
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN117912993B
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L31/18
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开
摘要：本申请涉及一种光伏硅片链式清洗机干燥系统，属于光伏硅片生产技术领域，本申请中的吹风风干装置直接承接从清水清洗装置过来的光伏硅片，通过使用较低温度的第一温度将光伏硅片表面流淌的清水吹除，同时，使用第一温度使整个光伏硅片的表面温度变为更均匀，且温度较正式烘干时的温度更低。之后再对均匀温度的光伏硅片进行较高温度的干燥，使得光伏硅片不应温度的不同而产生部分区域应力，提高光伏硅片的安全性。
主权项：1.一种光伏硅片链式清洗机干燥系统，其特征在于，包括：传输辊机构1，用于以水平传输光伏硅片；吹风风干装置2，用于对光伏硅片的两面喷吹具有第一温度的气体；加热风干装置3，设置在吹风风干装置2后端，用于对光伏硅片的两面喷吹具有第二温度的气体；所述第一温度小于第二温度；所述吹风风干装置2，包括风刀21，所述风刀21包括本体211，所述本体211中间开设有供半导体硅片通过的通道212，所述通道212的上下表面213上开设有通孔，所述本体211内具有围绕所述通道212的空腔215，所述本体211的顶部两端具有气体通入口214。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏亚电科技股份有限公司 一种光伏硅片链式清洗机干燥系统
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