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滤光器阵列 

申请/专利权人:唯亚威通讯技术有限公司

申请日:2017-02-13

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN113270429B

主分类号:H01L27/144

分类号:H01L27/144;H01L27/146;G01J3/28

优先权:["20160212 US 62/294,999"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权;2022.08.05#著录事项变更;2021.09.03#实质审查的生效;2021.08.17#公开

摘要:本申请涉及滤光器阵列。一种装置可以包括设置在基板上的滤光器阵列。滤光器阵列可以包括设置在基板上的第一反射镜。滤光器阵列可以包括设置在第一反射镜上的多个间隔件。多个间隔件的第一间隔件可以与第一厚度相关。多个间隔件的第二间隔件可以与第二厚度相关,所述第二厚度与第一厚度不同,对应于第一间隔件的第一通道和对应于第二间隔件的第二通道与小于大约10微米μm的分离宽度相关。滤光器阵列可以包括设置在多个间隔件上的第二反射镜层。

主权项:1.一种光学装置,包括:一组传感器元件;以及滤光器阵列,设置在基板上,所述滤光器阵列包括:第一反射镜,设置在所述基板上,多个间隔件,设置所述第一反射镜上,所述多个间隔件中的第一间隔件覆盖所述一组传感器元件,所述多个间隔件中的第二间隔件覆盖所述一组传感器元件中的第一传感器元件,所述第一传感器元件的量小于所述一组传感器元件的量,所述多个间隔件中的第三间隔件设置在所述第一间隔件上,所述第三间隔件覆盖所述一组传感器元件中的第二传感器元件,所述第二传感器元件的量小于所述一组传感器元件的量,由所述第三间隔件覆盖的所述第二传感器元件不同于由所述第二间隔件覆盖的所述第一传感器元件,以及所述第三间隔件和所述第二间隔件不邻接;以及第二反射镜,设置在所述多个间隔件上。

全文数据:

权利要求:

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