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申请/专利权人：苏州光舵微纳科技股份有限公司
申请日：2023-10-17
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221226166U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型公开一种清洗机槽体内的鼓泡装置。鼓泡装置包括：鼓泡板以及若干鼓泡管道，在鼓泡板上分布有多个贯穿其正反面的孔洞，鼓泡管道安装于鼓泡板的反面，且其相对两对分别与鼓气管道连通，鼓泡管道上分布有多个鼓泡孔，且同一鼓泡管道上的多个鼓泡孔沿其长度方向分布，靠近中间位置的鼓泡孔的孔径大于靠近边缘位置的鼓泡孔的孔径。当槽体中装有清洗液时，气体从鼓气管道进入，从鼓泡孔流出，形成气泡，且由于鼓泡孔的孔径中间大，边缘小，其形成一个从中间到边缘的对流，能够更好的把清洗出来的脏污带到槽体边缘，然后在槽体溢流或循环的情况下排出脏污。本实用新型能够提高湿法清洗的清洗效果，提升半导体产品各个工艺环节的合格率。
主权项：1.清洗机槽体内的鼓泡装置，其特征在于，包括：鼓泡板，在所述鼓泡板上分布有多个贯穿其正反面的孔洞；若干鼓泡管道，所述鼓泡管道安装于所述鼓泡板的反面，且其相对两对分别与鼓气管道连通，所述鼓泡管道上分布有多个鼓泡孔，且同一所述鼓泡管道上的多个鼓泡孔沿其长度方向分布，靠近中间位置的鼓泡孔的孔径大于靠近边缘位置的鼓泡孔的孔径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州光舵微纳科技股份有限公司 清洗机槽体内的鼓泡装置
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