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申请/专利权人：北京左文科技有限公司
申请日：2023-10-25
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221217978U
主分类号：C30B25/00
分类号：C30B25/00;C30B29/04;C30B30/02;C30B28/14
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型公开了一种可精准测温的微波反应装置，属于晶体生长设备领域。包括有微波谐振腔体、连接管、热电偶，所述微波谐振腔体内设置有生长台，所述连接管贯穿微波谐振腔体与生长台的底部相连接，所述热电偶设置在连接管内，和连接管形成热电偶组件，所述连接管在和生长台连接一端设置为封闭端，所述热电偶的测温端设置于封闭端。热电偶通过连接管伸入到微波谐振腔体内，对生长装置内部温度的进行直接、精确测量，提升生产的一致性和可重复性；同时，热电偶和生长台可以和腔体的其他部分通过绝缘体定位或者连接，从而实现电位的隔离，给生长台施加一个直流、交流或者交直流混合偏压，促进金刚石的生长。
主权项：1.一种可精准测温的微波反应装置，其特征在于，包括有微波谐振腔体、连接管、热电偶，所述微波谐振腔体内设置有生长台，所述连接管贯穿微波谐振腔体与生长台的底部相连接，所述热电偶设置在连接管内，所述连接管在与生长台连接的一端设置为封闭端，所述热电偶的测温端设置于封闭端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京左文科技有限公司 一种可精准测温的微波反应装置
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