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申请/专利权人：浙江合特光电有限公司
申请日：2022-12-29
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN116162925B
主分类号：C23C16/511
分类号：C23C16/511;C23C16/44
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开
摘要：本申请涉及光伏电池制造设备的领域，尤其是涉及一种PECVD设备的微波装置，包括位于反应腔外的微波源、连接于微波源且位于反应腔内的天线、套设于天线的石英管，石英管紧密插接有转动连接于反应腔内壁的管套，石英管圆周外壁紧密贴合有清洗箱，清洗箱内部成型有连通至石英管圆周外壁处的酸洗室、水洗室和烘干室，清洗箱设有带动石英管转动的动力电机，使得石英管不需要很频繁的从反应腔内取出进行清理，降低PECVD设备整体停机的时长，有助于产能的提升。
主权项：1.一种PECVD设备的微波装置，包括位于反应腔外的微波源（1）、连接于微波源（1）且位于反应腔内的天线（2）、套设于天线（2）的石英管（3），其特征在于：所述石英管（3）紧密插接有转动连接于反应腔内壁的管套（26），石英管（3）圆周外壁紧密贴合有清洗箱（4），清洗箱（4）内部成型有连通至石英管圆周外壁处的酸洗室（41）、水洗室（42）和烘干室（43），清洗箱（4）设有带动石英管（3）转动的动力电机（44）；清洗箱（4）内部顺应石英管（3）的转动方向依次设有酸洗室（41）、水洗室（42）和烘干室（43），酸洗室（41）、水洗室（42）和烘干室（43）均贯穿于清洗箱（4）上表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江合特光电有限公司 一种PECVD设备的微波装置
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