龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：乐金显示光电科技(中国)有限公司
申请日：2023-11-20
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221217917U
主分类号：C23C16/50
分类号：C23C16/50
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型涉及一种上电极以及化学气相沉积设备，上电极包括电极板、扩散板、侧板、连接组件和导向组件，电极板与扩散板沿第一方向平行且间隔设置，侧板围设于电极板和扩散板的周部，导向组件包括多个平行且间隔设置的导向筒，导向筒贯穿开设有导向孔，导向孔的轴线平行于第一方向，连接组件包括多个连杆，连杆穿设于对应的导向孔，连杆的两端分别与电极板和扩散板可拆卸连接。安装连接组件时，连杆穿设于对应的导向筒内，在导向筒的导向作用下，使得所有的连杆能够保持平行状态。即可保证电极板和扩散板之间能够保持平行。同时，在导向组件的导向作用下，无需对连杆进行测量，有利于简化安装流程，提高安装效率。
主权项：1.一种上电极，其特征在于，包括电极板、扩散板、侧板、连接组件和导向组件，所述电极板与所述扩散板沿第一方向平行且间隔设置，所述侧板围设于所述电极板和所述扩散板的周部，并使所述电极板、所述扩散板和所述侧板之间围成用于容纳化学气体的第一容纳腔，所述导向组件位于所述第一容纳腔内，所述导向组件包括多个平行且间隔设置的导向筒，多个所述导向筒之间通过固定杆连接为一体，所述导向筒贯穿开设有导向孔，所述导向孔的轴线平行于所述第一方向，所述连接组件包括多个连杆，多个所述连杆与多个所述导向筒一一对应设置，所述连杆穿设于对应的所述导向孔，所述连杆的两端分别与所述电极板和所述扩散板可拆卸连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乐金显示光电科技(中国)有限公司 上电极以及化学气相沉积设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号