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申请/专利权人：朝阳微电子科技股份有限公司
摘要：本实用新型涉及可用于硅片与玻璃在键合前进行预对准贴合的方法领域，公开了一种硅片和玻璃预对准装置，包括四轴光学微调平台，所述四轴光学微调平台右侧上部固定连接有第一旋钮，所述四轴光学微调平台前侧中部固定连接有第二旋钮,所述四轴光学微调平台前侧底部固定连接有第四旋钮，所述四轴光学微调平台左侧中部固定连接有第三旋钮，所述四轴光学微调平台顶侧中部固定连接有承片台，所述四轴光学微调平台底侧固定连接有底板，所述底板上侧后部固定连接有支杆。本实用新型中，通过四轴光学微调平台和电子显微镜等结构解决了显微镜下进行手工对片，无高精度调整平台，对准精度差，不易操作的问题。
主权项：1.一种硅片和玻璃预对准装置，包括四轴光学微调平台1，其特征在于：所述四轴光学微调平台1右侧上部固定连接有第一旋钮11，所述四轴光学微调平台1前侧中部固定连接有第二旋钮12,所述四轴光学微调平台1前侧底部固定连接有第四旋钮14，所述四轴光学微调平台1左侧中部固定连接有第三旋钮13，所述四轴光学微调平台1顶侧中部固定连接有承片台2，所述四轴光学微调平台1底侧固定连接有底板3，所述底板3上侧后部固定连接有支杆4，所述支杆4外侧中部固定连接有玻璃固定台5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朝阳微电子科技股份有限公司 一种硅片和玻璃预对准装置
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