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申请/专利权人：光群雷射科技股份有限公司
申请日：2023-11-27
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221225318U
主分类号：G03F7/16
分类号：G03F7/16;B05B16/20
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型公开一种固态光阻生产设备，其包括：一载体，具有一承载面；一光阻喷涂器，对应于所述承载面设置，用以于所述承载面喷涂形成有一光阻喷涂层；一烘烤机构，对应于所述载体设置，用以通过加热固化所述光阻喷涂层以使所述光阻喷涂层形成固态状且去除所述光阻喷涂层所包含的溶剂；以及一分离机构，对应于所述承载面设置，用以将形成固态状且未包含所述溶剂的所述光阻喷涂层自所述载体以物理性手段移除。由此，所述固态光阻生产设备能运作取得呈固态状且未含所述溶剂的所述光阻喷涂层，并且所述光阻喷涂层能被以不同于以往的方式进行应用，以有效地改变既有光阻剂仅能以液态状进行应用的局限。
主权项：1.一种固态光阻生产设备，其特征在于，所述固态光阻生产设备包括：一载体，具有一承载面；一光阻喷涂器，对应于所述承载面设置，用以于所述承载面喷涂形成有一光阻喷涂层；一烘烤机构，对应于所述载体设置，用以通过加热固化所述光阻喷涂层以使所述光阻喷涂层形成固态状且去除所述光阻喷涂层所包含的溶剂；以及一分离机构，对应于所述承载面设置，用以将形成固态状且未包含所述溶剂的所述光阻喷涂层自所述载体以物理性手段移除。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光群雷射科技股份有限公司 固态光阻生产设备
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