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申请/专利权人：艾佩科(上海)气体有限公司
申请日：2023-10-31
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221222353U
主分类号：F17C5/06
分类号：F17C5/06;F17C13/02;F17C13/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型公开了一种高纯三氟化氮的充装装置，包括：高压容器与充装系统；其中，充装系统包括原料罐、真空泵、充装容器；原料罐设置于充装系统的首端，装有液态三氟化氮；真空泵的安装则用于充装过程中管道系统抽真空，真空度可以到达1～10Pa；充装容器设置于充装系统的末端，用于充装气体；本实用新型通过设置高压容器与充装系统，充装过程由电脑自动控制和运行，并且采用9N级高纯氮气加上真空泵来置换和吹扫，这样不仅可以大大降低成本，因为氮气较氦气成本低廉，纯度往往也更高，可以增加吹扫次数，加上真空泵的使用，可以最大限度地减少三氟化氮路径上的杂质，从而保证三氟化氮的高纯和安全的充装。
主权项：1.一种高纯三氟化氮的充装装置，其特征在于，包括高压容器与充装系统；其中，充装系统包括原料罐、真空泵、充装容器；所述原料罐设置于充装系统的首端，装有液态三氟化氮；所述真空泵用于充装过程中管道系统抽真空，真空度可达1～10Pa；所述充装容器设于充装系统的末端，用于充装气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 艾佩科(上海)气体有限公司 一种高纯三氟化氮的充装装置
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