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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要：本实用新型公开了一种用于电子束曝光机的电源系统，包括输入电源保护电路、电压转换单元、隔离电源电路、降压转换单元和隔离基准电压电路；所述输入电源保护电路的输出端与所述电压转换单元的输入端相连；所述隔离电源电路的输入端与电压转换单元的输出端相连，所述隔离电源电路的输出端与降压转换单元的输入端相连，所述降压转换单元的输出端与AD电路或DA电路相连，用于为AD电路或DA电路提供隔离电源；所述隔离基准电压电路的输入端与隔离电源电路的输出端相连，所述隔离基准电压电路的输出端用于输出基准电压。本实用新型能够提供多种电源输出且输出稳定可靠。
主权项：1.一种用于电子束曝光机的电源系统，其特征在于，包括输入电源保护电路1、电压转换单元、隔离电源电路5、降压转换单元和隔离基准电压电路8；所述输入电源保护电路1的输出端与所述电压转换单元的输入端相连；所述隔离电源电路5的输入端与电压转换单元的输出端相连，所述隔离电源电路5的输出端与降压转换单元的输入端相连，所述降压转换单元的输出端与AD电路或DA电路相连，用于为AD电路或DA电路提供隔离电源；所述隔离基准电压电路8的输入端与隔离电源电路5的输出端相连，所述隔离基准电压电路8的输出端用于输出基准电压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于电子束曝光机的电源系统
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