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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要：本发明提供一种硅锗片上单光子激光雷达成像系统及方法，用于解决现有技术集成难度大，以及对红外波段弱光及单光子的探测能力也相对较低等技术问题。其中，成像系统包括硅衬底，分别设置在硅衬底同一侧不同位置处的激光器阵列芯片、探测器阵列芯片及控制电路芯片；激光器阵列芯片为硅锗VCSEL激光器阵列芯片；探测器阵列芯片为硅锗单光子探测器阵列芯片，其顶部设有与其连接的微振镜接收模块，用于将经目标物反射的激光接收并传输至探测器阵列芯片，探测器阵列芯片用于将接收到激光的光信号转换为电信号；控制电路芯片用于对激光器阵列芯片和探测器阵列芯片发射驱动信号，并接收由探测器阵列芯片反馈的电信号，进而对其进行处理及成像。
主权项：1.一种硅锗片上单光子激光雷达成像系统，其特征在于：包括硅衬底1，分别设置在硅衬底1同一侧不同位置处的激光器阵列芯片2、探测器阵列芯片3及控制电路芯片4；所述激光器阵列芯片2为硅锗VCSEL激光器阵列芯片，用于向目标物发射激光；所述探测器阵列芯片3为硅锗单光子探测器阵列芯片，其顶部设有与其连接的微振镜接收模块，微振镜接收模块用于将经目标物反射的激光接收并传输至探测器阵列芯片3，探测器阵列芯片3用于将接收到激光的光信号转换为电信号；所述控制电路芯片4分别与激光器阵列芯片2及探测器阵列芯片3电连接，用于对激光器阵列芯片2和探测器阵列芯片3发射驱动信号，并接收由探测器阵列芯片3反馈的电信号，进而对其进行处理及成像。
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百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种硅锗片上单光子激光雷达成像系统及方法
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