龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：苏州轩明视半导体设备科技有限公司
申请日：2024-04-29
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118259561A
主分类号：G03F7/30
分类号：G03F7/30
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供一种精细线路板的垂直显影设备及显影工艺，该显影设备包括并列设置的一流体模块、二流体模块，所述一流体模块喷淋的药液粒子粒径为100‑1000um，所述二流体模块喷淋的药液粒子粒径为5‑40um，包括夹具、喷盘及驱动喷盘移动的摇摆机构，所述夹具上装载有线路板，并通过输送机构在一流体模块、二流体模块之间以垂直状态移动，所述喷盘设有两个，对称设于夹具的前后侧，所述摇摆机构设有两个，每个摇摆机构单独驱动对应的喷盘上下移动。本发明实现了精细线路板的高精度显影蚀刻，且成本低，泛用性广。
主权项：1.一种精细线路板的垂直显影设备，其特征在于：包括并列设置的一流体模块、二流体模块，所述一流体模块设于二流体模块上游，所述一流体模块喷淋的药液粒子粒径为100-1000um，所述二流体模块喷淋的药液粒子粒径为5-40um，二流体模块包括夹具、喷盘及驱动喷盘移动的摇摆机构，所述夹具上装载有线路板，并通过输送机构在一流体模块、二流体模块之间以垂直状态移动，所述喷盘设有两个，对称设于夹具的前后侧，所述摇摆机构也设有两个，与两个喷盘一一对应设置，每个摇摆机构单独驱动对应的喷盘上下移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州轩明视半导体设备科技有限公司 一种精细线路板的垂直显影设备及显影工艺
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号