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申请/专利权人：内蒙古中环晶体材料有限公司
申请日：2022-12-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256988A
主分类号：C30B15/20
分类号：C30B15/20;C30B29/06;C30B15/14
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供一种自动回熔工艺，步骤为：将加入坩埚中的硅料加热至全部熔化；将回熔坩埚向下偏移坩埚设定距离；晶体向下偏移晶体偏移值，开始回熔；依据回熔次数重复向下偏移所述晶体，当执行完所述回熔次数后，报警输出，回熔完成。本发明的有益效果是在断苞扩断后进行回熔时，标准化操作实现了自动化、标准化回熔，在回熔过程中进行各个步骤的判定与操作，避免了工时浪费；且方案逻辑简单容易实现，适用性强，可广泛适用于不同炉形、不同热场的回熔工艺中；同时在回熔后，通过负向补偿加热器功率，并根据液面温度值线性提高加热器功率，以达到快速稳温的目的，便于后续稳温引晶，提高操作人员的工作效率，降低劳动强度，自动化水平高。
主权项：1.一种自动回熔工艺，其特征在于，步骤为：将加入坩埚中的硅料加热至全部熔化；将回熔坩埚向下偏移坩埚设定距离；晶体向下偏移晶体偏移值，开始回熔；依据回熔次数重复向下偏移所述晶体，当执行完所述回熔次数后，报警输出，回熔完成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古中环晶体材料有限公司 一种自动回熔工艺
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