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申请/专利权人：株式会社三丰

摘要：提供了一种用于坐标测量机的测量探头。该测量探头包括具有感测线圈配置的触针位置检测部分、信号处理和控制电路系统以及温度相关补偿部分。该温度相关补偿部分包括温度相关部件，该温度相关部件耦接到该感测线圈配置的至少一部分，使得由于该温度相关部件的温度的增加而引起的该温度相关部件的特性的变化致使该感测线圈配置中的第一电流与第二电流的比率增加，其中该第一电流和该第二电流分别在该感测线圈配置的至少一个第一感测线圈和至少一个第二感测线圈中。此类具体实施被配置成通过至少部分地补偿由于温度变化而发生的某些影响来增加所处理信号的准确度。

主权项：1.一种用于坐标测量机的测量探头，所述测量探头包括：触针悬挂部分，所述触针悬挂部分包括：触针耦接部分，所述触针耦接部分被配置成刚性地耦接到具有探头尖端的触针；和触针运动机构，所述触针运动机构被配置成使所述触针耦接部分能够沿轴向方向进行轴向运动并且使所述触针耦接部分能够绕旋转中心进行旋转运动；触针位置检测部分，所述触针位置检测部分沿平行于所述轴向方向并且名义上与所述旋转中心对准的中心轴线布置，所述触针位置检测部分包括：场生成线圈配置，所述场生成线圈配置包括至少一个场生成线圈；感测线圈配置，所述感测线圈配置包括：顶部位置感测线圈，所述顶部位置感测线圈包括：至少一个顶部轴向感测线圈；至少四个顶部旋转感测线圈；至少一个顶部归一化感测线圈；底部位置感测线圈，所述底部位置感测线圈包括：至少一个底部轴向感测线圈；至少四个底部旋转感测线圈；以及至少一个底部归一化感测线圈；干扰器配置，所述干扰器配置包括提供干扰器区域的传导干扰器元件，其中所述干扰器元件沿所述中心轴线定位于干扰器运动体积中，并且所述干扰器元件耦接到所述触针悬挂部分，其中所述干扰器元件响应于所述触针悬挂部分的偏转而相对于未偏转位置在所述干扰器运动体积中移动，所述场生成线圈配置响应于线圈驱动信号而在所述干扰器运动体积中生成总体上沿所述轴向方向的变化磁通量；信号处理和控制电路系统，所述信号处理和控制电路系统可操作地连接到所述触针位置检测部分的所述线圈以提供所述线圈驱动信号，并且被配置成接收包括由相应感测线圈提供的相应信号分量的信号，并且提供指示所述探头尖端的轴向位置和旋转位置的信号；和温度相关补偿部分，所述温度相关补偿部分包括温度相关部件，其中所述温度相关部件耦接到所述感测线圈配置的至少一部分，使得由于所述温度相关部件的温度的增加而引起的所述温度相关部件的特性的变化致使所述感测线圈配置中的第一电流与第二电流的比率增加，其中所述第一电流和所述第二电流分别在所述感测线圈配置的至少一个第一感测线圈和至少一个第二感测线圈中。

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权利要求：

百度查询： 株式会社三丰 具有感测线圈和温度补偿的测量探头