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一种用于光学瞄准镜的尺寸可调的发光芯片及其制备方法 

申请/专利权人:西安交通大学;东莞市傲雷移动照明设备有限公司

申请日:2024-01-24

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN117613168B

主分类号:H01L33/44

分类号:H01L33/44;G02B23/00;H01L33/08;H01L33/24;H01L33/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权;2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要:本发明属于半导体器件技术领域,提供一种用于光学瞄准镜的尺寸可调的发光芯片及其制备方法,所述发光芯片包括外延片;所述外延片自下而上依次包括衬底、底层外延层、有源层和顶层外延层;所述外延片的表面设置有刻蚀区和若干个发光区,所述刻蚀区铺设有绝缘介质层,绝缘介质层自顶层外延层延伸至底层外延层;各发光区同心设置且自内向外依次排布,各发光区之间由绝缘介质层隔开,对应每个发光区在顶层外延层上设置有电极;当所述发光芯片作为光源应用在具有分光镜的光学瞄准镜中时,相邻两个发光区在分光镜处形成的入眼光源图形交叠为一个图形。本发明通过调控不同发光区可以在无需分划板的前提下实现多尺寸图形快速无阻切换,提高光源利用率。

主权项:1.一种光学瞄准镜,其特征在于,包括光源和分光镜,所述光源为用于光学瞄准镜的尺寸可调的发光芯片,所述发光芯片包括外延片(1);所述外延片(1)自下而上依次包括衬底(11)、底层外延层(12)、有源层(13)和顶层外延层(14);所述外延片(1)的表面设置有刻蚀区和若干个发光区,所述刻蚀区铺设有绝缘介质层(3),所述绝缘介质层(3)自顶层外延层(14)延伸至底层外延层(12);各发光区同心设置且自内向外依次排布,各发光区之间由绝缘介质层(3)隔开,对应每个发光区在顶层外延层(14)上设置有电极(4);每个发光区的直径范围,根据发光区的发散角和人眼分辨率极限,并基于目标需求2MOA-6MOA设计得到;所述发光芯片的发射光线垂直入射在分光镜上,且相邻两个发光区在分光镜处形成的入眼光源图形交叠为一个图形。

全文数据:

权利要求:

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