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申请/专利权人：山东百利通亚陶科技有限公司
申请日：2023-09-25
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221239598U
主分类号：H01L21/683
分类号：H01L21/683
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本实用新型提供一种导流吸嘴，涉及真空吸附设备领域，在吸嘴本体上设置通气孔，通气孔用于产生真空负压吸附力，用于真空吸附物料；吸嘴本体用于接触物料的表面设置导流槽，导流槽形成通道，使通气孔与外界形成连通，导流槽用于在通气孔吸附和破气的过程中实现泄压。通过设置导流槽，减弱了吸附物料时突然产生的冲击，避免因真空吸力造成晶片产生暗裂；破气放置物料时将反吹的正压提前泄掉一部分，并保持搭载瞬间时态的局部气流稳定，确保良好的晶片搭载环境，通过导流槽优化平衡搭载破气后的气压，使其更稳定。
主权项：1.一种导流吸嘴，其特征在于，包括吸嘴本体1，所述吸嘴本体1上设置通气孔2，所述通气孔2能够产生真空负压吸附力；所述吸嘴本体1用于接触物料的表面设置导流槽3，所述导流槽3使所述通气孔2与外界连通，所述导流槽3用于在所述通气孔2吸附和破气的过程中实现泄压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东百利通亚陶科技有限公司 一种导流吸嘴
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