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申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

摘要：本实用新型公开了一种自动上下料设备，包括：花篮上料中转装置、花篮上料装置、第一转存装置、硅片上料装置、花篮下料中转装置、花篮流转装置、第二转存装置、硅片下料装置和花篮下料装置。硅片在输送过程中依次通过花篮上料装置输送装有待加工硅片的花篮—花篮上料中转装置中转花篮及其内的待加工硅片—硅片上料装置取出并输送花篮内的待加工硅片—第一转存装置以供待加工硅片转移至其他设备—第二转存装置收集已加工硅片—硅片下料装置输送已加工硅片—花篮下料中转装置使用空花篮收集已加工硅片—花篮下料装置转移装有已加工硅片的花篮，实现硅片自动上下料；花篮流转装置实现空花篮的流转。

主权项：1.一种自动上下料设备，其特征在于，包括：花篮上料中转装置100，包括第一花篮流转位置、第一硅片流转区间、第二花篮流转位置和上料转运组件110，所述上料转运组件110能够移动至所述第一花篮流转位置、所述第一硅片流转区间和所述第二花篮流转位置；花篮上料装置200，设于所述花篮上料中转装置100的一侧，并对应于所述第一花篮流转位置，以将装有待加工硅片的花篮上料至位于所述第一花篮流转位置的所述上料转运组件110内；第一转存装置300，相对间隔设于所述花篮上料中转装置100，以储存待加工硅片并供待加工硅片转移至下一工位；硅片上料装置400，设于所述花篮上料中转装置100和所述第一转存装置300之间，并对应于所述第一硅片流转区间，以取出位于所述第一硅片流转区间的所述上料转运组件110的花篮内的待加工硅片，并输送至所述第一转存装置300；花篮下料中转装置500，包括第三花篮流转位置、第二硅片流转区间、第四花篮流转位置和下料转运组件，所述下料转运组件能够移动至所述第三花篮流转位置、所述第二硅片流转区间和所述第四花篮流转位置；花篮流转装置600，具有花篮暂存位置和经过所述花篮暂存位置、所述第二花篮流转位置以及所述第三花篮流转位置的流转路径，能够转移所述第二花篮流转位置的所述上料转运组件110内的空花篮至所述花篮暂存位置或所述第三花篮流转位置；第二转存装置700，相对并间隔设于所述花篮下料中转装置500，以承接并储存已加工硅片；硅片下料装置800，设于所述第二转存装置700和所述花篮下料中转装置500之间，以承接所述第二转存装置700转移的已加工硅片，并输送至位于所述第二硅片流转区间的所述下料转运组件的花篮内；花篮下料装置900，设于所述花篮下料中转装置500的一侧，并对应于所述第四花篮流转位置，以将装有已加工硅片的花篮下料至位于所述第四花篮流转位置的所述下料转运组件内。

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