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一种单晶炉抽空管道 

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申请/专利权人:晶澳(无锡)光伏科技有限公司

摘要:本实用新型提供一种单晶炉抽空管道,包括:倾斜管道,倾斜管道的上端部设置有用于与单晶炉连接的抽气管,抽气管竖直设置;主管道,水平设置,并且倾斜管道的下端部连接到主管道的侧壁且与主管道连通;储灰罐,可拆卸地设置在主管道底部并且上端开口与主管道连通,储灰罐的位置对应于倾斜管道与主管道连通的位置,用于承接落入主管道内的块状挥发物;三通管道,第一端口连接到主管道的侧壁且与主管道连通,第二端口连接到真空泵,其中第一端口和第二端口彼此相对。本实用新型的单晶炉抽空管道通过设置储灰罐,疏通装置清理的块状挥发物可以沿倾斜管道滑落入储灰罐内,避免块状挥发物堆积在主管道内,影响气流通过,保证了抽空管道抽空顺畅。

主权项:1.一种单晶炉抽空管道,其特征在于,包括:倾斜管道,所述倾斜管道的上端部设置有用于与单晶炉连接的抽气管,所述抽气管竖直设置;主管道,所述主管道水平设置,并且所述倾斜管道的下端部连接到所述主管道的侧壁且与所述主管道连通;储灰罐,可拆卸地设置在所述主管道底部并且上端开口与所述主管道连通,所述储灰罐的位置对应于所述倾斜管道与所述主管道连通的位置,用于承接由所述倾斜管道落入所述主管道内的块状挥发物;三通管道,所述三通管道的第一端口连接到所述主管道的侧壁且与所述主管道连通,第二端口连接到真空泵,其中所述第一端口和所述第二端口彼此相对。

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权利要求:

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