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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：本发明提供了一种检测器检查设备，用于询查带电粒子光学评估装置中所包括的检测器的至少一部分，该检测器检查设备包括：耦合器，被配置为定位在检测器的检测器元件附近；以及设备控制器，被配置为向耦合器施加刺激信号以刺激检测器中的响应信号，用于询查检测器的至少一部分。
主权项：1.一种检测器检查设备，用于询查在带电粒子光学评估装置中使用的检测器的至少一部分，所述检测器检查设备包括：耦合器，被配置为定位在检测器的检测器元件附近；以及设备控制器，被配置为将刺激信号施加到所述耦合器以刺激所述检测器中的响应信号，用于询查所述检测器的至少一部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 检测器检查设备、检测器组件、检测器阵列、装置和方法
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