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申请/专利权人：长飞(武汉)光系统股份有限公司
摘要：本发明公开了一种在线刻写弱反射光纤光栅阵列的自动化装置，包括紫外脉冲激光器、柱面镜、掩模版、玻璃板、XY模组和Z轴模组，XY模组包括基座、X轴模组和两组Y轴模组，Z轴模组包括Z轴电动推杆和竖直设置的Z轴导轨；两组Y轴模组均安装在基座上，每组Y轴模组均包括Y轴电动夹爪，每个Y轴电动夹爪均具有两个Y轴爪子；X轴模组位于两组Y轴模组之间，X轴模组包括X轴电动夹爪，X轴电动夹爪具有两个X轴爪子，掩模版和玻璃板分别安装在一个X轴爪子上；紫外脉冲激光器用于发射脉冲激光对同心玻璃体上刻蚀出光栅。本发明可以减小在线刻写光栅时同心玻璃体的抖动，提高弱反射光纤光栅阵列产品的制备稳定性和良率。
主权项：1.一种在线刻写弱反射光纤光栅阵列的自动化装置，其特征在于，包括紫外脉冲激光器、柱面镜、掩模版、玻璃板、XY模组和Z轴模组，所述XY模组包括基座以及共同安装在所述基座上的X轴模组和两组Y轴模组；所述Z轴模组包括Z轴电动推杆和竖直设置的Z轴导轨，所述Z轴导轨上安装所述基座，并且所述Z轴电动推杆连接所述基座，以用于驱动所述基座沿Z轴移动，从而让XY模组向下移动时与从拉丝塔出来的同心玻璃体的速度一致来让XY模组与同心玻璃体保持相对静止，其中，所述Z轴沿上下延伸，所述同心玻璃体由纤芯和环绕所述纤芯的包层组成；两组所述Y轴模组上下布置，每组Y轴模组均包括Y轴电动夹爪，每个所述Y轴电动夹爪均具有两个Y轴爪子，以在两个Y轴爪子相互靠近后对所述同心玻璃体进行限位从而减小同心玻璃体的抖动；所述X轴模组位于两组所述Y轴模组之间，所述X轴模组包括X轴电动夹爪，所述X轴电动夹爪具有两个X轴爪子，所述掩模版和玻璃板分别安装在一个所述X轴爪子上，以在两个X轴爪子相互靠近后对同心玻璃体进行限位从而减小同心玻璃体的抖动；所述紫外脉冲激光器用于发射脉冲激光，并且发射的脉冲激光依次经过所述柱面镜和掩模版后在同心玻璃体上刻蚀出光栅。
全文数据：
权利要求：
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