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晶体管测试电路以及测试方法 

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申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司

摘要:本公开实施例提供一种晶体管测试电路以及测试方法,测试电路包括:至少两个待测模块,每一待测模块包括:待测晶体管、选择单元、第一选通单元以及第二选通单元,同一待测模块中,第一选通单元以及第二选通单元均由连接节点连接待测晶体管,不同待测模块中,所有第一选通单元连接第一端口,所有第二选通单元连接第二端口;选择单元被配置为,接收使能信号,响应于有效的使能信号,配置待测晶体管处于测试状态,控制第二选通单元导通且第一选通单元断开;选择单元还响应于无效的使能信号,配置待测晶体管处于非测试状态,控制第一选通单元导通且第二选通单元断开。本公开实施例至少有利于减小测试电路所占用面积,且提高漏电流测试准确性。

主权项:1.一种晶体管测试电路,其特征在于,包括:至少两个待测模块,每一所述待测模块包括:待测晶体管、选择单元、第一选通单元以及第二选通单元,其中,同一所述待测模块中,所述第一选通单元以及所述第二选通单元均经由连接节点连接所述待测晶体管,不同所述待测模块中,所有所述第一选通单元均连接用于提供第一电压的第一端口,所有所述第二选通单元均连接用于提供第二电压并采集漏电流的第二端口;所述选择单元被配置为,接收使能信号,响应于有效的所述使能信号,配置所述待测晶体管处于测试状态,并控制相应的所述第二选通单元导通且所述第一选通单元断开;所述选择单元还响应于无效的所述使能信号,配置所述待测晶体管处于非测试状态,并控制相应的所述第一选通单元导通且所述第二选通单元断开,以使与所述第二选通单元连接的所述第二端口与所述连接节点的电压相等;其中,一所述待测模块中的所述选择单元接收的所述使能信号有效期间,其余所述待测模块的所述选择单元接收的所述使能信号均无效。

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