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申请/专利权人：广东科视光学技术股份有限公司

摘要：本申请涉及曝光机技术领域，尤其涉及一种曝光机。装载机构通过吸附的方式固定待曝光件。当待曝光件放置于装载机构时，待曝光件对吸附孔进行封堵，通过负压装置使吸附孔形成负压，通过大气压力将待曝光件固定于装载机构。由于待曝光件区域内的吸附孔主要由待曝光件承受大气压力，因此密封件受到的大气压力较小，弹性件使密封件解除对吸附孔的密封。而待曝光件区域外的吸附孔没有待曝光件承受大气压力，因此，由密封件承受大部分的大气压力，使密封件紧贴装载台组件，对吸附孔进行封堵，防止漏气现象的产生，保证装载机构吸附待曝光件的有效性，并降低负压装置的功率，降低曝光设备的能耗。如此，降低曝光机能耗。

主权项：1.一种曝光机，其特征在于，包括：至少两个装载机构，所述装载机构用于装载待曝光件，所述装载机构并排布置；曝光机构，所述曝光机构用于对所述待曝光件进行曝光；第一移动组件，所述第一移动组件带动所述曝光机构沿第一方向移动；第二移动组件，所述第二移动组件带动所述曝光机构沿第二方向移动；控制器，所述控制器用于控制所述曝光机构，所述控制器随所述曝光机构在至少一个移动方向上同步移动；所述装载机构包括：装载台组件，所述装载台组件设置有若干吸附孔，所述吸附孔用于吸附所述待曝光件；负压装置，所述负压装置用于使吸附孔形成负压；弹性件，所述弹性件设置于所述吸附孔内；密封件，所述密封件与所述弹性件相连，所述密封件用于密封所述吸附孔；所述第一移动组件包括：第一基座；第一驱动组件，所述第一驱动组件安装于所述第一基座，所述第一驱动组件沿所述第一方向布置；第一直线导轨组件，所述第一直线导轨组件的数量至少为两个，所述第一直线导轨组件安装于所述第一基座，所述第一直线导轨组件与所述第一驱动组件平行布置；第一安装座，所述第一安装座安装于所述第一驱动组件的动力输出端，所述第一安装座与所有所述第一直线导轨组件相连，所述第一直线导轨组件对所述第一安装座进行导向；其中，若所述吸附孔未吸附所述待曝光件，所述密封件密封所述吸附孔，并使所述弹性件发生弹性形变；若所述吸附孔吸附所述待曝光件，所述弹性件使所述密封件移动，进而解除对所述吸附孔的密封；所述第二移动组件和所述控制器均安装于所述第一安装座；所述曝光机构安装于所述第二移动组件的动力输出端；所述第一方向配置为沿所述曝光机构的扫描方向，所述第二方向配置为沿所述曝光机构的出光方向。

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权利要求：

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