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申请/专利权人：李永春
摘要：本发明公开一种将无光罩曝光机应用于制作滚筒模具的系统，是使用无光罩曝光系统在曲面滚筒模仁表面制作微米结构的系统。本发明可将涂布在滚筒模仁表面上的光阻层进行无光罩式曝光，最后，再经由光阻的显影制程而得到大面积、无接缝与任意复杂图形的二维光阻结构，根据此光阻结构，再利用电铸或蚀刻的方式，即可完成滚筒模仁的制作，往后更可后续应用在连续滚印的微结构制程。
主权项：1.一种将无光罩曝光机应用于制作滚筒模具的系统，其特征在于，包括：光学引擎系统1，包括光源11、影像定义装置13及光学成像镜组15；滚筒模仁3，具有弧形光阻表面R；多轴运动控制系统4；及镭射镭射位移计5；其中，该光源11产生光线L，该光线L照射到该影像定义装置13，经过该影像定义装置13定义后的该光线L传递至该光学成像镜组15，该光学成像镜组15将该定义后的光线L的像素信息照射并成像于该滚筒模仁3的该弧形光阻表面R，以在该弧形光阻表面R的单位面积定义出了第一数字光学影像P1’之后，并再利用该多轴运动控制系统4移动该光学引擎系统1及该滚筒模仁3，直至该光阻表面R的全部表面都已经成像且拼接出该多个第一数字光学影像P1’，进而定义出完整的图形结构，成像期间，该镭射位移计5是量测该光学引擎系统1与该滚筒模仁3的该光阻表面R间的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 李永春 将无光罩曝光机应用于制作滚筒模具的系统
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