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申请/专利权人：连城凯克斯科技有限公司

摘要：本发明属于单晶体制造技术领域，具体的说是一种单晶炉循环水冷装置，该单晶炉包括炉体，所述炉体的上表面固定连接有炉盖，所述炉盖的上表面固定连接有连接管，所述炉盖的内部设置有水冷机构，所述水冷机构包括固定连接在炉盖内部的进水箱，所述进水箱的下表面固定连接有齿圈，所述齿圈的下表面固定连接有排水箱，所述排水箱和进水箱的表面均设置有定位管，所述齿圈的上表面转动连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮的内部设置有多道第一滑槽，所述第一滑槽的内部均滑动连接有移动管，所述移动管的一端均固定连接有水冷柱，通过调节泵的输水压力并输水进入套管内部，即可以调节水冷柱的位置来对不同直径的单晶体进行快速冷却操作。

主权项：1.一种单晶炉循环水冷装置，该单晶炉包括炉体（1），所述炉体（1）的上表面固定连接有炉盖（11），所述炉盖（11）的上表面固定连接有连接管（12），所述炉盖（11）的内部设置有水冷机构，其特征在于：所述水冷机构包括固定连接在炉盖（11）内部的进水箱（211），所述进水箱（211）的下表面固定连接有齿圈（2），所述齿圈（2）的下表面固定连接有排水箱（222），所述排水箱（222）和进水箱（211）的表面均设置有定位管（213），所述齿圈（2）的上表面转动连接有第一锥齿轮（21），所述第一锥齿轮（21）的内部设置有多道第一滑槽（22），所述第一滑槽（22）的内部均滑动连接有移动管（23），所述移动管（23）的一端均固定连接有水冷柱（24），所述水冷柱（24）的内部均固定连接有螺旋管（25），所述移动管（23）的圆周面设置有滑杆（220），所述进水箱（211）的表面固定连接有多个套管（215），所述套管（215）之间固定连接有环形管（235），所述套管（215）的内部滑动连接有活塞杆（217），所述活塞杆（217）的一端固定连接有锥形盘（218），且锥形盘（218）的内圆周面和滑杆（220）的一端相贴合，所述炉体（1）的外侧壁固定连接有循环水箱（224），所述循环水箱（224）的上表面固定连接有调节泵（225），所述调节泵（225）的输出端设置有输水机构，所述炉体（1）的外侧壁固定连接有驱动壳（228），所述输水机构用于输水进入驱动壳（228），并通过驱动壳（228）将水输送至进水箱（211）和套管（215）中，以及还可以储存排水箱（222）中排出的水；所述输水机构包括固定连接在调节泵（225）的输入端和循环水箱（224）之间的进水管（226），所述调节泵（225）的输出端和驱动壳（228）的上表面之间固定连接有第一排水管（227），所述排水箱（222）的内部和循环水箱（224）之间固定连接有循环管（223），所述进水箱（211）的内部固定连接有三通管（232），所述三通管（232）的一端和驱动壳（228）的下表面之间固定连接第二排水管（231），所述三通管（232）的另一开口和套管（215）的内部固定连接。

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