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一种探针装置、检测装置 

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申请/专利权人:华为技术有限公司

摘要:本申请实施例提供一种探针装置、检测装置,涉及半导体测试技术领域,用于改善检测信号路径上的电感值,对检测信号准确性造成影响的问题。该探针装置包括基板、信号接口、承载板、信号转接板、探针以及线缆。承载板、基板以及信号转接板层叠设置。基板作为设置信号接口、承载板以及信号转接板的载体。探针的第一部分嵌入承载板中,使得承载板可以作为容纳或承载探针的载体。探针的第二部分贯穿信号转接板,且与信号转接板中的信号走线或接地层电连接,且探针的第三部分伸出承载板和信号转接板与待测元件的焊垫电连接。

主权项:1.一种探针装置,其特征在于,包括:基板;信号接口,设置于所述基板上;承载板,与所述基板层叠设置,且与所述基板相连接;信号转接板,层叠设置于所述承载板远离所述基板的一侧,且与所述承载板相连接;所述信号转接板包括信号走线和接地层;探针,所述探针的第一部分嵌入所述承载板中,所述探针的第二部分贯穿所述信号转接板,所述探针的第三部分从所述信号转接板远离所述承载板和所述基板的表面伸出所述信号转接板;所述探针的第二部分与所述信号转接板中的所述信号走线或所述接地层电连接;所述承载板的一部分覆盖所述探针靠近基板的一侧;线缆,所述线缆的第一端与所述信号接口电连接,所述线缆的第二端通过所述信号转接板与所述探针电连接。

全文数据:

权利要求:

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