龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：一种形成图案化光阻层的方法，包括以下步骤：在基板上形成图案化光阻层；形成覆盖图案化光阻层的成型层；在成型层中回流图案化光阻层；以及从回流的图案化光阻层移除成型层。在一些实施例中，成型层具有玻璃转化温度高于或等于图案化光阻层的玻璃转化温度。在又一些实施例中，成型层具有玻璃转化温度比图案化光阻层的玻璃转化温度低3℃至30℃。
主权项：1.一种形成图案化光阻层的方法，其特征在于，包括：形成图案化光阻层于基板上，其中该图案化光阻层包含暴露该基板的孔洞；形成覆盖该图案化光阻层的成型层，其中该成型层填充该图案化光阻层的该孔洞；在该成型层中回流该图案化光阻层，其中回流该图案化光阻层包括在高于该图案化光阻层的玻璃转化温度的温度下加热该图案化光阻层；及从回流的该图案化光阻层移除该成型层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 形成图案化光阻层的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号