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申请/专利权人：上海微纳国际贸易有限公司
摘要：本发明公开了一种高真空样品储存装置，属于扫描电镜、透射电镜、半导体真空配件技术领域。它包括主室，所述主室一侧连通有真空规，所述主室的顶部连通有对接室。连通机构的设计能够保证各个样品仓之间的相互独立，真空环境互不干扰，极大程度上提高了样品的纯净度；装卸样品仓时，由于真空模块与外界隔绝，所以不用反复启停，进而大大提高了效率；内筒与外筒之间的互锁机构保障了样品仓与对接室及连通机构的安全连接，避免了误操作所带来的影响；装样操作简单、方便。
主权项：1.一种高真空样品储存装置，包括主室7，其特征在于：所述主室7一侧连通有真空规8，所述主室7的顶部连通有对接室4，所述对接室4的一端通过连通机构31连通有样品仓2，所述样品仓2的内部设有铜网装夹机构1，所述连通机构31包括外筒11、中筒12和内筒21，所述对接室4一端与外筒11相连通，所述中筒12的一端套设在外筒11另一端内部，且所述中筒12伸入外筒11的一端侧壁上开设有多个开口30，且所述中筒12伸入外筒11一端端部密封设置，所述中筒12上固定套设有第一O型圈10，所述内筒21的一端通过互锁机构套设在中筒12的另一端内部，所述内筒21另一端通过头部螺纹与样品仓2相连通；所述互锁机构包括定位环20，所述定位环20通过顶紧螺丝27与中筒12相固定，所述内筒21上设有凸起，所述定位环20上设有与凸起相匹配的凹槽，当所述内筒21上的凸起与定位环20凹槽相卡接，当所述内筒21旋转30°时，所述内筒21与定位环20呈锁死状态，所述定位环20上还通过圆柱销19转动连接有限位条18；所述主室7上还设有用于主室7与对接室4二者之间通断的二级阀门5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微纳国际贸易有限公司 一种高真空样品储存装置
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