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申请/专利权人：长春理工大学中山研究院
摘要：本申请提供了一种基于蛾眼结构的微透镜阵列的制备方法，所述方法通过提供基片，共面三光束激光干涉光路以及聚二甲基硅氧烷；在所述基片表面均匀涂覆一层厚度为1.4μm的光刻胶，形成第一胶层；将所述第一胶层放置于100℃的热板上1min，得到固化的第一胶层；利用所述共面三光束激光干涉光路，对所述固化的第一胶层进行曝光，得到双周期光栅结构；将所述双周期光栅结构旋转特定角度，利用所述共面三光束激光干涉光路，对旋转后的所述双周期光栅结构进行曝光，得到蛾眼结构；对所述蛾眼结构进行1min的显影，形成具有微透镜阵列图形的目标模板；利用所述聚二甲基硅氧烷，对所述目标模板进行倒模，得到微透镜阵列。根据所述方法能够提高微透镜阵列的透射率。
主权项：1.一种基于蛾眼结构的微透镜阵列的制备方法，其特征在于，包括：提供基片，共面三光束激光干涉光路以及聚二甲基硅氧烷；在所述基片表面均匀涂覆一层厚度为1.4μm的光刻胶，形成第一胶层；将所述第一胶层放置于100℃的热板上1min，得到固化的第一胶层；利用所述共面三光束激光干涉光路，对所述固化的第一胶层进行曝光，得到双周期光栅结构；将所述双周期光栅结构旋转特定角度，利用所述共面三光束激光干涉光路，对旋转后的所述双周期光栅结构进行曝光，得到蛾眼结构；对所述蛾眼结构进行1min的显影，形成具有微透镜阵列图形的目标模板；利用所述聚二甲基硅氧烷，对所述目标模板进行倒模，得到微透镜阵列。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长春理工大学中山研究院 一种基于蛾眼结构的微透镜阵列的制备方法
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