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用于获取电子反向散射衍射图样的方法和系统 

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申请/专利权人:FEI公司

摘要:提供了用于获取电子反向散射衍射图样的各种方法和系统。在一个实例中,通过将带电粒子束引向ROI内的多个撞击点并检测从所述多个撞击点散射的粒子来执行第一次扫描。基于检测到的粒子来计算所述多个撞击点中的每个撞击点的信号质量。基于每个撞击点的所述信号质量来计算所述ROI的信号质量。响应于所述ROI的所述信号质量低于阈值信号质量,执行对所述ROI的第二次扫描。可以基于检测到的来自所述第一次扫描和所述第二次扫描两者的粒子来形成样品的结构图像。

主权项:1.一种用于对样品进行成像的方法,其包含:通过将带电粒子束引向感兴趣区域内的多个撞击点,并检测从所述多个撞击点中的每个撞击点散射的粒子来执行第一次扫描;基于从所述撞击点散射的所述检测到的粒子,计算所述多个撞击点中的每个撞击点的信号质量;基于每个撞击点的所述信号质量,计算所述感兴趣区域的信号质量,其中所述感兴趣区域的所述信号质量低于阈值信号质量;通过在计算所述感兴趣区域的所述信号质量之后,将所述带电粒子束引向所述感兴趣区域内的所述多个撞击点中的一个或多个,并检测从所述感兴趣区域内的所述多个撞击点中的所述一个或多个散射的粒子来执行第二次扫描;基于在所述第一次扫描和所述第二次扫描期间从所述撞击点散射的所述检测到的粒子形成所述多个撞击点中的每个撞击点的电子反向散射衍射EBSD图样;和基于所述电子反向散射衍射图样形成所述感兴趣区域的结构图像。

全文数据:

权利要求:

百度查询: FEI公司 用于获取电子反向散射衍射图样的方法和系统

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