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微光衍射元件补偿方法、系统、光学装置及存储介质 

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申请/专利权人:上海至纯洁净系统科技股份有限公司

摘要:本发明涉及微光衍射技术领域,具体为一种微光衍射元件补偿方法、系统、光学装置及存储介质。所述补偿方法包括以下步骤:获取所述微光衍射元件的实时温度分布信息;对所述温度分布信息进行预处理,消除噪声并优化所述温度分布信息的温度数据;基于优化后的所述温度数据,计算所述微光衍射元件的折射率变化;将所述原始相位补偿图案转为空间光调制器可识别的格式相位补偿图案。本发明的微光衍射元件补偿方法通过实时获取温度分布信息、计算折射率变化和局部相位畸变,并利用空间光调制器应用动态补偿,有效解决了高功率激光应用中微光衍射元件热效应导致的性能不稳定问题。

主权项:1.一种微光衍射元件补偿方法,其特征在于,所述补偿方法包括以下步骤:获取所述微光衍射元件的实时温度分布信息;对所述温度分布信息进行预处理,消除噪声并优化所述温度分布信息的温度数据;基于优化后的所述温度数据,计算所述微光衍射元件的折射率变化;根据所述折射率变化,计算所述微光衍射元件的局部相位畸变;基于所述局部相位畸变,通过迭代算法生成原始相位补偿图案;将所述原始相位补偿图案转为空间光调制器可识别的格式相位补偿图案;将所述格式相位补偿图案应用于所述空间光调制器;将所述空间光调制器放置在所述微光衍射元件的光路中,以抵消热效应导致的局部相位畸变。

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权利要求:

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