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全自动DLC真空镀膜设备 

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申请/专利权人:成都国泰真空设备有限公司

摘要:本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体涉及一种全自动DLC真空镀膜设备。机架上设置有控制部分和镀膜部分,镀膜部分包括第一壳体,在该第一壳体顶部设置有向内延伸的成膜室,成膜室侧部铰接有门盖;在成膜室内底部设置有旋转式铜下极板,门盖的内侧设置固定式不锈钢上极板;成膜室还配合有腔体压力调节系统和清洗充气系统。本实用新型的全自动DLC真空镀膜设备,除真空发生器以外的所有部件融于一体,在控制部分实现人机交互,统一进行功能操作,相较于传统的多步骤操作能够大大降低生产时间,提高效率,并且能够使产品的良率大大增加。将人为不确定因素降低,为实际生产提供了更好的条件支持。

主权项:1.全自动DLC真空镀膜设备,其特征在于:包括机架和真空发生器3,在所述的机架上设置有控制部分1和镀膜部分2,所述的镀膜部分2包括第一壳体,在该第一壳体顶部设置有向内延伸的成膜室4,所述的成膜室4侧部铰接有门盖5;在所述的成膜室4内底部设置有旋转式铜下极板7,在所述的门盖5的内侧设置有与该旋转式铜下极板7对应的固定式不锈钢上极板6;所述的成膜室4还配合有腔体压力调节系统和清洗充气系统;所述的真空发生器3、旋转式铜下极板7、腔体压力调节系统以及清洗充气系统均与控制部分1连接。

全文数据:

权利要求:

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