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申请/专利权人:北京北方华创真空技术有限公司
摘要:本申请涉及单晶硅生产设备的领域,尤其是涉及一种埚托和单晶炉组合埚具。其一,本申请涉及一种埚托,包括埚托本体;埚托本体上设置有凸起部。坩埚能够放置在埚托本体上,并且埚托能够对坩埚进行有效承托,并且埚托与坩埚的接触面积增加,有助于提升坩埚的散热效果。其二,本申请涉及一种单晶炉组合埚具,包括CCZ异形坩埚和埚托。CCZ异形坩埚和埚托组成的单晶炉组合埚具,具有散热效率高、提升晶棒径向品质均匀度、提高产量、有利CCZ加料熔料等优点。
主权项:1.一种埚托,其特征在于:包括埚托本体(3);所述埚托本体(3)的中心位置处设置有凸起部(31);所述埚托本体(3)上开设有通气道(33),所述通气道(33)延伸至凸起部(31)内;所述凸起部(31)内设置有存气槽(32),所述通气道(33)与存气槽(32)连通。
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百度查询: 北京北方华创真空技术有限公司 埚托和单晶炉组合埚具
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