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申请/专利权人：AGC株式会社
摘要：本发明涉及具有比较高的研磨速度还能够对大型工件适当地进行研磨的研磨装置。研磨装置具有：研磨带；多个辊，能够使上述研磨带的表面向第1水平方向移动；驱动马达，驱动上述辊旋转；第1平台和第2平台，在上述第1平台与上述第2平台之间，以与上述研磨带的上述表面相对的方式保持作为被加工对象的工件；行驶机构，能够使上述第2平台向与上述第1水平方向正交的第2水平方向移动；升降机构，使上述第1平台或者上述第2平台升降；以及载荷检测器，设置于上述升降机构。上述载荷检测器在上述工件的研磨期间掌握对该工件的被研磨面的载荷，并将该载荷维持在适当的范围。
主权项：1.一种研磨装置，其中，所述研磨装置具有：研磨带，具有表面和背面，并在所述表面担载有磨粒；多个辊，通过旋转，能够使所述研磨带的所述表面向第1水平方向移动；驱动马达，驱动所述辊旋转；第1平台和第2平台，相互对置地配置，所述第1平台配置于所述研磨带的背面侧，所述第2平台配置于所述研磨带的表面侧，在所述第1平台与所述第2平台之间，以与所述研磨带的所述表面相对的方式保持作为被加工对象的工件；行驶机构，能够使所述第2平台向与所述第1水平方向正交的第2水平方向移动；升降机构，以机械方式与所述第1平台或者所述第2平台连接，并使所连接的所述第1平台或者所述第2平台升降；以及载荷检测器，设置于所述升降机构，所述载荷检测器在所述工件的研磨期间掌握对该工件的被研磨面的载荷，并将该载荷维持在适当的范围。
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