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申请/专利权人：中国人民解放军战略支援部队信息工程大学
摘要：本发明公开一种基于COMSOL改变势垒层厚度探究Alα‑Al2O3Al电输运性质的方法，包括：利用仿真软件COMSOL半导体模块的薛定谔接口，分别搭建一维方势垒隧穿模型和三维Alα‑Al2O3Al约瑟夫森结器件模型；分别对两种模型的势垒层厚度进行参数化扫描得到粒子能发生量子隧穿效应以及氧化铝薄膜厚度对约瑟夫森结器件电输运性质的影响。本发明为现有约瑟夫森结制备工艺的改进提供方向，并且验证了基于多物理场耦合模型对约瑟夫森结进行研究的可行性和有效性，对提升约瑟夫森结及超导集成电路的性能有重要的意义。
主权项：1.一种基于COMSOL改变势垒层厚度探究Alα-Al2O3Al电输运性质的方法，其特征在于，包括：步骤1：利用仿真软件COMSOL半导体模块的薛定谔接口，分别搭建一维方势垒隧穿模型和三维Alα-Al2O3Al约瑟夫森结器件模型；步骤2：分别对两种模型的势垒层厚度进行参数化扫描得到粒子能发生量子隧穿效应以及氧化铝薄膜厚度对约瑟夫森结器件电输运性质的影响。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军战略支援部队信息工程大学 基于COMSOL改变势垒层厚度探究Al/α-Al2O3/Al电输运性质的方法
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