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一种电镀层厚度在线调控系统 

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申请/专利权人:安徽元琛环保科技股份有限公司

摘要:本发明公开了一种电镀层厚度在线调控系统,包括:控制器,以及与所述控制器连接的镀厚装置、药液监测装置、X射线测量系统和电源装置;药液监测装置在镀厚装置运行过程中,多频次自动采样镀厚药液,并进行在线分析,以及将分析结果与所述控制器设定的浓度控制值对比,根据药液浓度对比结果,所述控制器控制药液监测装置自动加药;在镀厚药液浓度稳定的基础上,X射线测量系统测将监测的膜厚反馈给所述控制器,所述控制器中设定的厚度误差范围对比,所述控制器根据膜厚对比数据,控制电源装置增加或减少对镀厚装置的电流,直至X射线测量系统监测的膜厚在所述误差范围内。通过本发明公开的电镀层厚度在线调控系统能够实现镀层厚度在线调控。

主权项:1.一种电镀层厚度在线调控系统,其特征在于,包括:控制器,以及与所述控制器连接的镀厚装置100、药液监测装置200、X射线测量系统300和电源装置400;药液监测装置200在镀厚装置100运行过程中,多频次自动采样镀厚药液,并进行在线分析,以及将分析结果与所述控制器设定的浓度控制值对比,根据药液浓度对比结果,所述控制器控制药液监测装置200自动加药;在镀厚药液浓度稳定的基础上,X射线测量系统300测将监测的膜厚反馈给所述控制器,所述控制器中设定的厚度误差范围对比,所述控制器根据膜厚对比数据,控制电源装置400增加或减少对镀厚装置100的电流,直至X射线测量系统300监测的膜厚在所述误差范围内。

全文数据:

权利要求:

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