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申请/专利权人：东莞市赛富特智能科技有限公司
摘要：本发明涉及一种向基层材料上增加镀层的加工设备，包括：沉积室，其内部空腔为用于镀膜的工作空间；脉冲电子束沉积模块，设置于所述沉积室上，并与沉积室共同形成一个封闭的空腔，该空腔可通过抽气形成真空环境；所述脉冲电子束沉积模块设置于沉积室的顶部，或底部，或顶部和底部，或单侧面，或双侧面。对现有技术中的溅镀相比，脉冲电子束沉积由于其脉冲的特性，能耗表现更为优异。通过调整脉冲间隔参数，每平米基层材料镀膜的能源消耗成本，可实现降低70％,另外透过参数调整可实现工况下在线任意调整沉积厚度,在同一张膜上实现阶梯厚度差，并且相对沉积材料利用率极优,因此进一步节省靶材及沉积室清洁成本。
主权项：1.一种向基层材料上增加镀层的加工设备，其特征在于：包括：沉积室，其内部空腔为用于镀膜的工作空间；脉冲电子束沉积模块，设置于所述沉积室上，并与沉积室共同形成一个封闭的空腔，该空腔可通过抽气形成真空环境，本底真空度低于1E-3Pa；所述脉冲电子束沉积模块设置于沉积室的顶部，或底部，或顶部和底部，或单侧面，或双侧面。
全文数据：
权利要求：
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