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申请/专利权人：常州朗芯新材料科技有限公司
摘要：本发明提供了一种ARF光刻胶用光致产酸剂磺酸盐的制备方法，属于有机合成技术领域。本发明以2‑溴‑2,2‑二氟乙酸酯作为反应原料，成本低廉；本发明通过改进现有的亚磺化工序，具体的，本发明以三苯基甲基硫醇作为原料引入‑S‑基团，经后续过氧化氢的氧化，获得稳定性高的磺酸盐，其反应易于监控；且本发明先引入‑S‑基团再引入酯基，在后续的脱保护、酰化反应中不需要在碱性环境下加热，能够避免酯基的水解反应。
主权项：1.一种ARF光刻胶用光致产酸剂磺酸盐的制备方法，所述光致产酸剂磺酸盐具有式I所示结构： 式I中，R1表示碳原子数1～10的取代或非取代的烷基、碳原子数1～10的取代或非取代的至少在末端具有双键的链烯基、碳原子数3～20的取代或非取代的脂环式有机基团、碳原子数6～20的取代或非取代的芳基、碳原子数1～10的取代或非取代的烷氧基、碳原子数6～20的取代或非取代的芳氧基、碳原子数2～10的取代或非取代的烷基羰基、碳原子数7～20的取代或非取代的芳基羰基、碳原子数2～10的取代或非取代的烷基羰氧基、碳原子数7～20的取代或非取代的芳基羰氧基、碳原子数1～10的取代或非取代的烷氧基羰基或碳原子数7～20的取代或非取代的芳氧基羰基；Q+为鎓离子；所述制备方法包括以下步骤：将2-溴-2,2-二氟乙酸酯、硼氢化钠和有机溶剂混合，进行还原反应，得到2-溴-2,2-二氟乙醇；将所述2-溴-2,2-二氟乙醇、三苯基甲基硫醇、碱和有机溶剂混合，进行取代反应，得到具有式a所示结构的化合物； 具有式a所示结构的化合物与具有式b所示结构的酰氯化合物进行酰化反应，得到具有式c所示结构的化合物； 具有式c所示结构的化合物与三氟乙酸进行脱保护反应，得到具有式d所示结构的化合物； 将具有式d所示结构的化合物、过氧化氢与有机溶剂混合，进行氧化反应，得到具有式e所示结构的化合物； 具有式e所示结构的化合物与一价鎓盐进行离子交换反应，得到具有式I所示结构的光致产酸剂磺酸盐。
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