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申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司
摘要：本申请公开了一种改善图像传感器白像素性能的方法，该方法包括：提供一衬底，并在所述衬底表面生长隔离氧化层；对所述衬底进行碳离子注入工艺；去除所述隔离氧化层；在所述衬底表面淀积外延层；进行后续有源区工艺。本申请通过上述方案，能够减小杂质金属离子对图像传感器白像素性能的影响，提高白像素性能。
主权项：1.一种改善图像传感器白像素性能的方法，其特征在于，包括：提供一衬底，并在所述衬底表面生长隔离氧化层；对所述衬底进行碳离子注入工艺；去除所述隔离氧化层；在所述衬底表面淀积外延层；进行后续有源区工艺。
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百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 改善图像传感器白像素性能的方法
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