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申请/专利权人：安徽美达伦光伏科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种PECVD设备的压力调节机构，涉及PECVD设备技术领域，包括底座和固定安装在所述底座顶面上的设备主体，设备主体彼此相对应的两端均连通设置有输气管，两所述输气管上均连通设置有连接管，所述输气管与连接管之间连通设置有调节组件，所述调节组件包括：所述连通管的内部固定安装有固定筒。本实用新型提供的一种PECVD设备的压力调节机构，通过利用驱动组件，使得固定筒中的活动筒能够在驱动组件的作用下沿着固定筒的轴向进行滑动，从而使得活动筒在滑动的同时能够对开设在固定筒周面上的通孔的空隙大小进行调节，进而通过调节气体的流通量，从而对气体的压力大小进行自适应调节，从而在一定程度上提高了PECVD设备的实用性。
主权项：1.一种PECVD设备的压力调节机构，包括底座10和固定安装在所述底座10顶面上的设备主体30，所述设备主体30彼此相对应的两端均连通设置有输气管40，两所述输气管40上均连通设置有连接管50，其特征在于，所述输气管40与所述连接管50之间连通设置有调节组件60，所述调节组件60包括：连通管601，所述连通管601连通设置在所述输气管40与所述连接管50之间，所述连通管601的内部固定安装有固定筒602，所述固定筒602的周面上沿轴向开设有通孔603；所述固定筒602的内部沿轴向滑动设置有活动筒604；所述连通管601上设置有用于驱动所述活动筒604进行滑动的驱动组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽美达伦光伏科技有限公司 一种PECVD设备的压力调节机构
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