首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种LPCVD设备安全控制系统 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:中国电子科技集团公司第四十八研究所

摘要:本发明公开了一种LPCVD设备安全控制系统,包括:安全检测模块、安全PLC和部件模块供电接触器;所述安全PLC分别与安全检测模块和部件模块供电接触器连接,所述安全检测模块用于采集LPCVD设备的数据信号,并将数据信号传递至安全PLC,在安全PLC内做逻辑运算,并将计算结果通过输出至LPCVD设备的各部件模块的接触器上,以实现控制各部件模块供电;当安全条件满足时,接触器吸合,部件模块供电;当安全条件不满足时,接触器断开,部件模块断电。本发明具有接线简单、安全互锁逻辑实现方便灵活、能够快速诊断安全系统故障等特点,提高了LPCVD设备的运行可靠性。

主权项:1.一种LPCVD设备安全控制系统,其特征在于,包括:安全检测模块1、安全PLC2和部件模块供电接触器3;所述安全PLC2分别与安全检测模块1和部件模块供电接触器3连接,所述安全检测模块1用于采集LPCVD设备的数据信号,并将数据信号传递至安全PLC2,在安全PLC2内做逻辑运算,并将计算结果通过输出至LPCVD设备的各部件模块的接触器上,以实现控制各部件模块供电;当安全条件满足时,接触器吸合,部件模块供电;当安全条件不满足时,接触器断开,部件模块断电。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种LPCVD设备安全控制系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。