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申请/专利权人:捷造科技(宁波)有限公司
摘要:本实用新型公开了一种PECVD载板回传设备,包括:第一回传线与第二回传线,其中,所述第一回传线包括出片室、下料台,以及至少一个工艺室,每个所述工艺室分为前后两组,每组由三个工位一体构成进行集体传片,前一组的三个工位为非工艺位,后一组的三个工位为工艺位,所述第二回传线包括进片室以及多个前后连接的单工位,所述单工位进行单独传片,所述第一回传线与第二回传线通过PLC控制形成整条自动化线。本实用新型的优点是:结构简单,减少工位待机时间,提高了产线效率。
主权项:1.一种PECVD载板回传设备,其特征在于,包括:第一回传线与第二回传线,其中,所述第一回传线包括出片室、下料台,以及至少一个工艺室,每个所述工艺室分为前后两组,每组由三个工位一体构成进行集体传片,前一组的三个工位为非工艺位,后一组的三个工位为工艺位,所述第二回传线包括进片室以及多个前后连接的单工位,所述单工位进行单独传片,所述第一回传线与第二回传线通过PLC控制形成整条自动化线。
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