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衬套插件、包括该衬套插件的衬套组件和包括该衬套组件的上部电极组装结构 

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申请/专利权人:哈纳材料公司

摘要:提供了一种联接到等离子体电极板的衬套插件。该衬套插件被配置成提供在第一方向上穿过衬套插件的插件内孔,衬套插件的限定插件内孔的内表面被配置成形成母螺纹结构,并且衬套插件的外表面在平面图中具有非圆形形状。

主权项:1.一种联接到等离子体电极板的衬套插件,其中,所述衬套插件被配置成提供插件内孔,所述插件内孔沿第一方向穿过所述衬套插件,所述衬套插件的限定所述插件内孔的内表面被配置成提供母螺纹结构,并且所述衬套插件的外表面在平面图中具有非圆形形状。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 哈纳材料公司 衬套插件、包括该衬套插件的衬套组件和包括该衬套组件的上部电极组装结构

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