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申请/专利权人：上海轩田智能科技股份有限公司
摘要：本实用新型涉及真空技术领域，公开了一种真空控制系统和真空系统。关于真空控制系统，抽气回路设为抽真空回路，其中，抽真空回路具有抽真空管道；稳压回路连接抽真空回路；破真空回路连接抽真空回路；其中，稳压回路与破真空回路共用一套回路系统，回路系统设为进气回路。关于真空系统，包括：上述真空控制系统和真空腔室；其中，真空控制系统连接真空腔室。本申请的技术方案，简化当前的真空结构，降低成本和管路的复杂程度，高效利用管路。稳压回路进气补偿和破真空回路破真空共用同一套管路系统，降低复杂度，减少成本。
主权项：1.一种真空控制系统，其特征在于，包括：抽气回路，所述抽气回路设为抽真空回路，其中，所述抽真空回路具有抽真空管道；稳压回路，连接所述抽真空回路；和破真空回路，连接所述抽真空回路；其中，所述稳压回路与所述破真空回路共用一套回路系统，所述回路系统设为进气回路。
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百度查询： 上海轩田智能科技股份有限公司 一种真空控制系统和真空系统
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